A novel capacitive pressure sensor structure with high sensitivity and quasi-linear response - 01/01/03
Aziz
Ettouhami
,
Noureddine
Zahid,
Mourad
Elbelkacemi
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Résumé |
This paper describes a new capacitive structure of pressure sensor to increase simultaneously the sensitivity and the linearity of the transducer. This structure contains two capacitors which change in response to pressure, but in opposite senses. To increase even more the sensitivity of each capacitor, the pressure sensitive diaphragm carries a central boss. The optimal position and the length of the boss are also calculated. To cite this article: A. Ettouhami et al., C. R. Mecanique 332 (2004).
Résumé |
Une nouvelle structure de capteur de pression capacitif permettant d'augmenter simultanément la sensibilité et la linéarité du transducteur a été proposée. Cette structure contient deux condensateurs qui varient avec la pression mais dans des sens opposés. Pour augmenter davantage la sensibilité de chaque condensateur, la membrane sensible à la pression porte une bosse au centre. La position optimale et la longueur de la bosse sont également calculées. Pour citer cet article : A. Ettouhami et al., C. R. Mecanique 332 (2004).
Mots clés : Control ; Capacitive pressure sensor ; Linearity ; Sensitivity.
Mots clés : Automatique ; Capteur de pression capacitif ; Linéarité ; Sensibilité.
Plan
Vol 332 - N° 2
P. 141-146 - février 2004 Retour au numéro
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